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1、温湿度控制

温度和湿度是细菌繁殖的两个主要条件，所以要想把洁净室做得更好，首先要控制好洁净室的温度和湿度。不同用途的洁净室对温度和湿度有不同的要求。加工精度越精细，温度波动范围必须越小。在无尘室内，人的出汗也会带来一些污染，所以无尘室的温度一般设定在25左右。洁净室内的湿度不应超过55%。湿度过大，容易造成器件腐蚀。湿度过低会影响产物的正常生产。

2.气压控制

在大多数洁净室中，为了防止外界污染的侵入，内部压力需要高于外部压力。压力差的维持一般应遵守以下原则：

1、洁净空间压力高于非洁净空间；

2、洁净度等级高的空间压力高于相邻洁净度等级低的空间压力；

3、连通的洁净室之间的门应开向洁净度等级高的房间。室内气流速度也有以下要求：

（1）.送风口出口气流速度不宜过高。与纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角更大。

（2）.气流吹过水平面的速度不宜过快，以免将表面颗粒吹回气流中，造成再次污染。一般这个速度不应超过0.2尘/蝉。

3、噪声控制

之所以要控制噪音，不仅是因为机器运转时会产生大量粉尘，而且噪音会扰乱工作人员的精神状态，容易引起烦躁，影响工作效率。同时，噪声也可能干扰通讯设备的正常工作。通讯设备通过发送和接收频率传递信息，而噪声会干扰信号频率，从而影响正常的通讯工作。洁净室的噪音水平应为65分贝。

4.光照控制

由于洁净室的大部分工作内容都有精细的要求，而且都是密闭的房屋，所以对照明的要求一直很高。洁净室的照明设施需要是无影灯，不会给操作带来麻烦。在精密电子设备洁净室和手术室中，无影灯是重要的照明设施。